Интерферометры Фабри-ПероИнтерферометры Фабри-Перо (эталоны) изготавливаются из высококачественного кварцевого стекла в форме твёрдотельного эталона и эталонов с воздушной прослойкой. Твёрдотельный эталон имеет форму монолитной плоскопараллельной пластины, покрытия на обеих поверхностях которой образуют резонатор с базой от 0.5 до 15 мм (Тип I). Эталоны блочной конструкции с воздушным промежутком (Типы II, III) собраны на оптическом контакте из пары клиновидных пластин, разделённых специальным кольцом. На внутренние поверхности пластин нанесены частично отражающие покрытия. Конструкция Типа II обычно используется для Эталонов с базой 0.5 мм - 30 мм. Для базы в 0.005 - 0.5 мм рекомендуется Тип III.
| | Материал зеркальных поверхностей | Кварцевое стекло |
| Материал промежутка | Кварцевое стекло или ситалл (для применений, когда требуется высокая стабильность в широком интервале температур) |
| Непараллельность зеркальных поверхностей | <0.5 угл. сек |
| Качество обработки зеркальных поверхностей | /70; 20-10 scratch/dig |
| Коэффициент отражения зеркал | 80 5 %, или по требованию |
| Диаметр | 10-80 мм |
Твёрдотельный эталон (Тип I)
Эталон с воздушным промежутком (Тип II)
Эталон с воздушным промежутком (Тип III) |